激光塵埃粒子計數(shù)器在無塵車間的使用

瀏覽次數(shù)：1786發(fā)布日期：2020-07-17

　　激光塵埃粒子計數(shù)器是新一代觸摸屏便攜式塵埃粒子計數(shù)器，儀器采用彩色觸摸屏，外形美觀大氣，機身采用鋁合金材料，表面噴細砂銀灰色處理，小巧輕便；采用直流氣泵，連續(xù)工作穩(wěn)定，超低噪音，節(jié)能環(huán)保；內(nèi)置進口數(shù)字流量傳感器，采樣流量動態(tài)準確控制；供電可使用交流供電，也可使用內(nèi)置的大容量鋰電池供電，方便應(yīng)用于無交流電場所的移動檢測。儀器是目前藥廠，電子廠快速檢測潔凈室潔凈度的首要之選，其主要應(yīng)用范圍包括：

　　潔凈室（區(qū)）潔凈度的測試；

　　電子廠、藥廠潔凈室的日常維護監(jiān)測；

　　高濃度氣溶膠的測量；

　　空氣中懸浮粒子的測量。

　　集成電路制造業(yè)是需要在一個超凈環(huán)境中進行的，它是使用超純材料進行超精細加工的行業(yè)。集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有嚴格的要求，不同的工藝對清潔度有不同的要求。

　　半導(dǎo)體集成電路在生產(chǎn)過程中會接觸到很多污染物，比如無機離子、有機物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外，不適當(dāng)?shù)臏囟取穸取⒐庹铡㈧o電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。當(dāng)顆粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過一定限度時，集成電路產(chǎn)品會出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導(dǎo)致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導(dǎo)致電路報廢。

　　鑒于此需要使用激光塵埃粒子計數(shù)器來對半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進行監(jiān)測，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標準，塵埃粒子計數(shù)器配置簡單，可從一個儀器轉(zhuǎn)移到另一個儀器，易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱，多功能安裝選項，無縫集成到設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)。

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